平凡社 世界大百科事典

弾性表面波素子

SAWデバイスともいう。弾性表面波は弾性体の表面付近に沿って伝わる波の総称で,なかでもレーリー波は従来地震波との関連においてその性格が解明されてきた。この波を圧電板上で励振すると,その波長が,例えば100MHzの周波数では0.03mm程度というように非常に短く,かつ板の表面上で容易に制御できるので,小型で特徴あるエレクトロニクス機能素子が得られる。現在実用化されたものにカラーテレビ用映像中間周波フィルターがあり,従来のコイルを用いたものに対して大幅に使用部品が節減されかつ信頼性の高い素子として認められている。表面波素子の一般構成は,圧電板上に設けられた線状の電極が交互に入り組んだものを主体とした電極群,すなわち電極パターンを目的により種々変化させて得られる。フィルターのほか信号処理用遅延線とくにフーリエ変換機能素子,圧力,温度などのセンサー,光偏向器などに用いられている。

柴山 乾夫