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【ミュンヘン2022年5月24日PR Newswire=共同通信JBN】半導体製造向け熱管理ソリューション市場で業界をリードするERS electronic(https://www.ers-gmbh.com/ )は、実際のプローブ領域で30mK以下の高精度自動測定を実現した温度校正装置を開発した。

「ProbeSense(TM)」(https://www.ers-gmbh.com/thermal-chucks/probesense )と名付けられた特許出願中の装置は、プローバーのプローブカード位置に取り付けられた温度センサーでできている。同センサーは、プローバーのXYZ軸動作機能を活用し、プローブ中と同条件でウエハー表面の数地点の温度を測定できる。ProbeSense(TM)は、顧客のプローバーに合わせたアダプタープレートを同梱して届けられ、半導体業界の全てのウエハープローバーに対応している。ProbeSense(TM)のパッケージには、mKレンジ内でセンサーと共に校正された温度測定器も同梱されている。

ERSのソフトウエアProbeSense(TM)をプローバーに組み込むことで、プロセスが完全に自動化され、オペレーターを必要とせずに、チャック上の複数のポイント、複数の温度でテストスクリプトの実行が可能になる。MPI Corporation(https://www.mpi-corporation.com/