TOPPAN、石川工場に次世代半導体パッケージのパイロットライン導入へまた、同パイロットラインで行う研究開発のうち、有機RDLインターポーザーの開発について、NEDO(国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構)が公募した「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(助成)」に採択されたとのことだ。
生成AIや自動運転などに用いられる次世代半導体では、高密度化を実現するために、パッケージ基板の大型化やチップレット(※1)化が進んでいる。
チップレット構造の実現には、チップとパッケージ基板を接続するインターポーザー(※2)と呼ばれる中間基板が不可欠だが、現在主流のシリコンインターポーザーは大型化に課題があるとのことだ。そのため、シリコンに代わる材料として大型ガラス基板をベースとしたインターポーザー技術の確立が期待されているという。
今回同社が導入するパイロットラインでは、大型ガラス基板を用いたインターポーザーの研究開発をはじめ、ガラスコア、有機RDLインターポーザーなど、次世代半導体パッケージに求められる部材の研究開発に取り組むという。将来の量産化に向けた技術の検証を進めるとのことだ。
なお、NEDOに採択された事業は、有機RDLインターポーザーのサブミクロン配線製造技術開発を通して、大容量データ伝送と低消費電力化を同時に実現することを目指すもの。
同社は、公立大学法人大阪 大阪公立大学、公立大学法人富山県立大学、国立大学法人信州大学、国立大学法人東京科学大学、国立研究開発法人産業技術総合研究所と連携し、技術・材料開発を推進するとのことだ。
(※1)大規模な回路を複数の小型チップに分割し、1つのパッケージに収める技術

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