EUVマスク欠陥検出装置は、極端紫外線（EUV）リソグラフィーで使用されるフォトマスク上の微細な欠陥を検出・分類するための高度な検査機器であり、次世代半導体製造における品質保証の中核を担っている。EUVマスクは従来の光学マスクと異なり、多層構造かつ反射型であるため、欠陥の種類も複雑で、従来の可視光検査では検出が困難である。
この分野の技術的進展には、ナノメートル単位の解像度と高速スキャン能力の両立が不可欠であり、AIを活用した欠陥識別や、シミュレーションに基づく欠陥影響評価の導入が進んでいる。また、EUVマスク特有のマルチレイヤ構造に起因する「埋もれた欠陥」や、リソグラフィー工程で顕在化する潜在欠陥への対応も重要な課題とされている。欠陥の自動分類や修正可能性の判定機能を組み込んだシステム設計により、マスク修正プロセスとの連携が強化され、検査装置は単なる発見装置ではなく、工程全体の最適化を担う役割へと進化している。
LP Information調査チームの最新レポートである「グローバルEUVマスク欠陥検出装置市場の成長2025-2031」によると、2025年から2031年の予測期間中のCAGRが13.2%で、2031年までにグローバルEUVマスク欠陥検出装置市場規模は38.5億米ドルに達すると予測されている。
図. EUVマスク欠陥検出装置世界総市場規模
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000327697&id=bodyimage1】
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000327697&id=bodyimage2】
図. 世界のEUVマスク欠陥検出装置市場におけるトップ3企業のランキングと市場シェア（2024年の調査データに基づく；最新のデータは、当社の最新調査データに基づいている）
LP Informationのトップ企業研究センターによると、EUVマスク欠陥検出装置の世界的な主要製造業者には、Lasertec、KLA-Tencor、NuFlareなどが含まれている。2024年、世界のトップ3企業は売上の観点から約95.0%の市場シェアを持っていた。
企業の成長性に関しては、最先端EUV露光技術を支える唯一無二の装置として、高度な専門技術と継続的な研究開発が求められる。EUV導入を進める半導体メーカーとの密接な技術連携が不可欠であり、装置の性能だけでなく、解析アルゴリズムの更新や運用サポートの充実も差別化要素となる。今後、2nm以下のプロセス開発に向けて、より厳格なマスク品質管理が求められる中、EUVマスク検査装置の需要はさらに高まり、ニッチながら極めて戦略的価値の高い市場として継続的な成長が見込まれている。
レポート概要
タイプ別セグメント：
5-7nm Process
3nm and Below Process
用途別セグメント：
Mask Shop
Fab
会社概要
LP informationは、専門的な市場調査レポートの出版社です。高品質の市場調査レポートを提供することで、意思決定者が十分な情報を得た上で意思決定を行い、戦略的な行動を取ることを支援し、新製品市場の開拓という研究成果を達成することに注力しています。
お問い合わせ先｜LP Information
日本語公式サイト：https://www.lpinformation.jp
グローバルサイト：https://www.lpinformationdata.com
電子メール：info@lpinformationdata.com
配信元企業：LP Information Co.,Ltd
プレスリリース詳細へ
ドリームニューストップへ
そのため、EUV波長に近い露光環境下での検査技術が求められ、特殊な照明系や高感度センサー技術、ナノレベルの位置制御技術が組み合わされた装置が開発されている。
この分野の技術的進展には、ナノメートル単位の解像度と高速スキャン能力の両立が不可欠であり、AIを活用した欠陥識別や、シミュレーションに基づく欠陥影響評価の導入が進んでいる。また、EUVマスク特有のマルチレイヤ構造に起因する「埋もれた欠陥」や、リソグラフィー工程で顕在化する潜在欠陥への対応も重要な課題とされている。欠陥の自動分類や修正可能性の判定機能を組み込んだシステム設計により、マスク修正プロセスとの連携が強化され、検査装置は単なる発見装置ではなく、工程全体の最適化を担う役割へと進化している。
LP Information調査チームの最新レポートである「グローバルEUVマスク欠陥検出装置市場の成長2025-2031」によると、2025年から2031年の予測期間中のCAGRが13.2%で、2031年までにグローバルEUVマスク欠陥検出装置市場規模は38.5億米ドルに達すると予測されている。
図. EUVマスク欠陥検出装置世界総市場規模
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000327697&id=bodyimage1】
【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000327697&id=bodyimage2】
図. 世界のEUVマスク欠陥検出装置市場におけるトップ3企業のランキングと市場シェア（2024年の調査データに基づく；最新のデータは、当社の最新調査データに基づいている）
LP Informationのトップ企業研究センターによると、EUVマスク欠陥検出装置の世界的な主要製造業者には、Lasertec、KLA-Tencor、NuFlareなどが含まれている。2024年、世界のトップ3企業は売上の観点から約95.0%の市場シェアを持っていた。
企業の成長性に関しては、最先端EUV露光技術を支える唯一無二の装置として、高度な専門技術と継続的な研究開発が求められる。EUV導入を進める半導体メーカーとの密接な技術連携が不可欠であり、装置の性能だけでなく、解析アルゴリズムの更新や運用サポートの充実も差別化要素となる。今後、2nm以下のプロセス開発に向けて、より厳格なマスク品質管理が求められる中、EUVマスク検査装置の需要はさらに高まり、ニッチながら極めて戦略的価値の高い市場として継続的な成長が見込まれている。
レポート概要
タイプ別セグメント：
5-7nm Process
3nm and Below Process
用途別セグメント：
Mask Shop
Fab
会社概要
LP informationは、専門的な市場調査レポートの出版社です。高品質の市場調査レポートを提供することで、意思決定者が十分な情報を得た上で意思決定を行い、戦略的な行動を取ることを支援し、新製品市場の開拓という研究成果を達成することに注力しています。
何百もの技術を網羅する膨大なレポートデータベースにより、産業市場調査、産業チェーン分析、市場規模分析、業界動向調査、政策分析、技術調査など、さまざまな調査業務のご依頼に対応可能です。
お問い合わせ先｜LP Information
日本語公式サイト：https://www.lpinformation.jp
グローバルサイト：https://www.lpinformationdata.com
電子メール：info@lpinformationdata.com
配信元企業：LP Information Co.,Ltd
プレスリリース詳細へ
ドリームニューストップへ
編集部おすすめ
