加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功

加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功
-従来比で感度100倍以上、ノイズ10分の1以下-

【要点】
○積層メタル構造によりMEMS加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功
○超小型加速度センサーの高分解能化・汎用化を実現
○医療やインフラ診断、移動体制御、ロボットなど様々な分野をレベルアップ


【概要】
東京工業大学の益一哉学長(科学技術振興機構(JST)ナノエレクトロニクスCREST代表者)らとNTTアドバンステクノロジ(注)は複数の金属層で形成される積層メタル構造を用い、超低雑音・超高感度特性を有するMEMS(用語)加速度センサーの開発に成功した。従来のMEMS技術では困難だった1マイクロ(μ)Gレベル(G=9.8 m/s2、重力加速度)の高分解能の検知を実現した。

超小型加速度センサーの高分解能化・汎用化における革新的な技術であり、医療・ヘルスケア、インフラ診断、移動体制御、ロボット応用など様々な動き検知用途において新しいデバイス・システム開発につながると期待される。

同研究グループはこれまでに金材料を用いてMEMS加速度センサーの錘(おもり)を10分の1以下に小型化する手法を提案。この実績をもとに今回はMEMS構造を複数の金の層を重ねて形成することで面積あたりの錘質量を増やし、従来の同サイズセンサーに比べて感度を100倍以上に向上、ノイズを10分の1以下に低減することに成功した。
研究成果は国際学術論文誌「Sensors and Materials(センサーとマテリアル)」に掲載され、2019年7月23日にオンライン公開される。

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